WST技术是利用热喷涂和珠击合二为一的新工艺，通过高温高压把复合材料渗透进金属组织20um内以改善组织结构效果如下 1提高硬度30% 2粗糙度降低 3压缩应力增强 4疲劳强度提高 5摩擦系数降低 6；其革命性主要表现在两个方面，一是它的高性能，另一是使离子注入机的结构大大简化，主要由离子源靶室和真空系统这三部分组成 在国家863计划的大力支持下，经过十多年的研究和开发，M EVVA源金属离子注入表面技术在硬件。

31离子注入 离子注入是利用经过加速和分离的高能量离子束作用于材料表面， 使之产生一定厚度的注入层， 从而改变材料的表面特性具体方法是 把工件金属合金陶瓷等放在离子注入机的真空靶室中， 在几十至几百千伏；离子注入在金属材料的改性中获得的结果十分引人注目在常用金属的离子注入改性中，可以提高金属的硬度抗腐蚀性能和抗疲劳强度，降低金属的磨损率某些绝缘材料如陶器玻璃有机材料经离子束照射以后，性质发生重要的变化。

造芯片到这里还有一步掺杂，即在不同工序中把不同金属离子注入无数天窗下面的硅基底中，使这些区域改变特性，形成需要的半导体电气性能即形成P型或N型半导体，两种不同半导体微小区域之间形成单向导电的PN结，连续的三个PNP或NPN区域含有；铁电泳是一种陶瓷材料，通常是由钛酸铅PbTiO3和钛酸钡BaTiO3等化合物组成的铁电泳具有铁电性质，具有高介电常数压电效应和铁电效应等特点，被广泛应用于电子光学声学等领域其中，铁电泳在电容器压电。

离子注入的优点有1纯度高离子是通过磁分析器选出来的2均匀度好同一平面均匀度一般可保证在±3%3能够精确控制注入剂量和深度4温度较低，不会发生热缺陷5能够利用PR胶或金属作为掩膜板进行选择性区域注入。